真空热处理炉的冷却方法可分为气体冷却和油冷却和水冷却气体冷却有两种，一种是加热冷却在同一室进行，另一种是加热式和冷却室分隔气冷介质有氢、氦和氩等，常用的是99.999百分之以上的高纯氮气，易被氮化的钛合金用氢冷却油冷有必要选用专门的低蒸汽压真空淬火油。
水冷情况下，冷却室与加热室间用真空阀门分隔。首要依托辐射传热，工作条件较好，但高温下易蒸发，避免真空放电（低于100V）镍铬和铁铬铝合金在真空中只能用于较低温度和中度真空规模。
一般运用电压为220V和380V.钼、钽、钨在真空中加热容易蒸发，相应的运用温度下降，一般运用电压为10--60V.
硅碳棒真空中运用温度为1400℃，运用电压为220V和380V ,硅钼棒真空中1300℃发作软化，一般运用电压为10--60V.石墨电极真空中超越2400℃会敏捷蒸发。设备运行中请勿将手伸入炉中,以免烫伤。本机工作温度范围为20℃~220 ℃，当开关按入时，高压电源被接通。指示灯显示所处的状态。
