真空炉一般在春秋季节泄漏故障较多，长期闲置时泄漏故障易发生。我厂采取每月一次测压升率(在常温下，关闭所有真空阀，停止真空系统运转，1Omin后读一个数，1h后再读一个数，两数之差是压升率的数值)，掌握真空炉设备泄漏变化趋势，如真空炉设备连续停机一个礼拜，要空运转一次。
编制真空炉使用维护操作规程，建立运行记录和修理档案，统计运行累积工作时间，加强日常维护，掌握真空炉设备技术状态变化趋势，及早发现故障损坏苗头，避免属于事故抢修性质的热修，并根据电炉子负荷和工作状况，提前有针对性地准备修理用料，编制修理工艺。如合金元件的使用寿命长短与工作温度、炉内介质、元件质量及操作情况等许多因素有关，其波动寿命6000～10000h。
在真空炉系统检漏时，除用泥糊堵外，也可用医用针管吸乙醚射剑所怀疑的漏点处，观察真空表读数有无变化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，进行检漏。真空炉扩散泵有积炭可用化学酸洗的方法清洗。
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